Máy gia công siêu tinh được sử dụng cho công đoạn hoàn thiện cuối cùng của các bề mặt chính xác sau mài hoặc tiện cứng. Thông qua đá siêu tinh hoặc băng mài, kết hợp với chuyển động dao động được kiểm soát, máy chỉ loại bỏ một lượng vật liệu rất nhỏ, qua đó cải thiện thêm độ nhám, độ sóng và chất lượng bề mặt của chi tiết.

So với phương pháp mài, gia công siêu tinh có lượng vật liệu bóc tách ít hơn và chủ yếu tập trung vào việc nâng cao chất lượng bề mặt hoàn thiện cũng như đặc tính làm việc của bề mặt chi tiết.

Các chi tiết thường được gia công siêu tinh gồm vòng ổ trục, con lăn trụ, con lăn côn, chi tiết dạng trục và các chi tiết truyền động chính xác khác. Tùy theo hình dạng chi tiết, vị trí bề mặt cần gia công và phương thức sản xuất, có thể lựa chọn máy gia công siêu tinh dạng đứng hoặc dạng ngang.

• Máy gia công siêu tinh đứng
  Phù hợp hơn với vòng ổ trục, vòng có đường kính lớn và các chi tiết dạng đĩa. Phôi thường được đặt nằm ngang và quay quanh trục thẳng đứng, thuận tiện cho việc gia công siêu tinh rãnh lăn trong, rãnh lăn ngoài, mặt đầu và các bề mặt dạng vòng phức tạp. Cấu hình này cũng phù hợp với các chi tiết có đường kính lớn và trọng lượng nặng.
• Máy gia công siêu tinh ngang
  Phù hợp hơn với con lăn, trục, trục vít và các chi tiết quay có tỷ lệ chiều dài trên đường kính lớn. Tùy theo yêu cầu gia công, máy có thể áp dụng phương pháp gia công siêu tinh kiểu ăn dao hướng kính hoặc gia công kiểu chạy xuyên qua. Trong đó, phương pháp chạy xuyên qua đặc biệt phù hợp với sản xuất hàng loạt liên tục.